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光刻掩膜版

發(fā)布時(shí)間：2014-07-19

原始的ITO的玻璃是在玻璃基板上覆蓋一層ITO膜。要在ITO玻璃上做出圖形，先要涂上一層感光抗蝕材料（光刻膠），然后將有圖形的掩膜版覆蓋在光刻膠玻璃上。光刻掩膜版的圖形是由黑白兩種狀態(tài)組成，黑色不透光，白色透光。在覆蓋有掩膜版的玻璃上曝光時(shí)，光刻膠發(fā)生變化，受光部分經(jīng)顯影溶解掉，露出ITO膜，再將露出的ITO膜蝕掉，最后ITO玻璃上形成了與掩膜版完全一致的ITO圖形。